Parameteridentifikation und Virtuelles Prototyping von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen basierend auf Methoden der Mehrkörperdynamik. TechMech [Internet]. 2019 Aug. 3 [cited 2026 Oct. 26];25(2):90-9. Available from: https://journals.ub.ovgu.de/ojs/techmech/article/view/898