Ein Verfahren zur rasterelektronenmikroskopischen Verschiebungsmessung in der Mikromechanik

Authors

  • R. Kühnert
  • B. Michel
  • W. Trotzauer

Abstract

 

 

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Published

2020-02-03

Issue

Vol. 6 No. 4 (1985)

Section

Article

How to Cite

“Ein Verfahren zur rasterelektronenmikroskopischen Verschiebungsmessung in der Mikromechanik” (2020) Technische Mechanik - European Journal of Engineering Mechanics, 6(4), pp. 37–40. Available at: https://journals.ub.ovgu.de/ojs/techmech/article/view/1679 (Accessed: 25 October 2026).

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