Ein Verfahren zur rasterelektronenmikroskopischen Verschiebungsmessung in der Mikromechanik

R. Kühnert; B. Michel; W. Trotzauer

Ein Verfahren zur rasterelektronenmikroskopischen Verschiebungsmessung in der Mikromechanik

Authors

R. Kühnert
B. Michel
W. Trotzauer

Abstract

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Published

2020-02-03

How to Cite

Kühnert, R., Michel, B. and Trotzauer, W. (2020) “Ein Verfahren zur rasterelektronenmikroskopischen Verschiebungsmessung in der Mikromechanik”, Technische Mechanik - European Journal of Engineering Mechanics, 6(4), pp. 37–40. Available at: https://journals.ub.ovgu.de/index.php/techmech/article/view/1679 (Accessed: 22 December 2024).