Die kolorimetrische Prüfung von Dünnfilmparametern bei der Herstellung integrierter Schaltkreise

U. Muchamedchanow

Die kolorimetrische Prüfung von Dünnfilmparametern bei der Herstellung integrierter Schaltkreise

Authors

U. Muchamedchanow

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Published

2019-10-22

Issue

Vol. 13 No. 1 (1992)

Section

Article

How to Cite

“Die kolorimetrische Prüfung von Dünnfilmparametern bei der Herstellung integrierter Schaltkreise” (2019) Technische Mechanik - European Journal of Engineering Mechanics, 13(1), pp. 55–60. Available at: https://journals.ub.ovgu.de/ojs/techmech/article/view/1323 (Accessed: 25 October 2026).